เป้ากระบอกหมุนไททาเนียม

เป็นส่วนประกอบที่ใช้ในกระบวนการสะสมไอทางกายภาพ (PVD) ซึ่งเป็นวิธีการสะสมฟิล์มบางๆ ของวัสดุบนพื้นผิว เป้าหมายของท่อไททาเนียมทำจากไททาเนียมบริสุทธิ์และมีรูปร่างเหมือนกระบอกสูบที่หมุนระหว่างกระบวนการ PVD

กระบวนการ PVD ทำงานโดยใช้ไฟฟ้าหรือแมกนีตรอนสปัตเตอร์เพื่อทำให้วัสดุเป้าหมาย ซึ่งในกรณีนี้คือไททาเนียม ระเหย และเคลือบเป็นฟิล์มบางๆ บนพื้นผิว เป้าหมายทรงกระบอกหมุนช่วยให้เคลือบฟิล์มไททาเนียมบนพื้นผิวได้สม่ำเสมอมากขึ้น

ข้อดีของการใช้ในกระบวนการ PVD ได้แก่ ฟิล์มที่สะสมมีความบริสุทธิ์สูง อัตราการสะสมสูง และการยึดเกาะของฟิล์มที่ดีขึ้น เป้าหมายหมุนไททาเนียมสำหรับการสปัตเตอร์แมกนีตรอนทำจากวัสดุไททาเนียมคุณภาพสูงและได้รับการออกแบบให้ทนต่ออุณหภูมิสูงและความเครียดเชิงกลระหว่างกระบวนการ PVD

ข้อมูลจำเพาะเบื้องต้น

ประเภทขนาดปกติ:

ข้อได้เปรียบของเรา

เป้าหมายไททาเนียมที่เราจัดหาให้มีขนาดเล็ก กระจายสม่ำเสมอ มีความบริสุทธิ์สูง มีสิ่งเจือปนน้อย และมีความบริสุทธิ์สูง ฟิล์ม TiN ที่สะสมไว้ใช้ในงานตกแต่ง เครื่องมือ เซมิคอนดักเตอร์ และสาขาอื่นๆ โดยมีการยึดเกาะที่ดี เคลือบสม่ำเสมอ และมีสีสันสดใส

--ความบริสุทธิ์

ความบริสุทธิ์เป็นหนึ่งในตัวบ่งชี้ประสิทธิภาพที่สำคัญในการผลิตเป้าหมายการสปัตเตอร์ไททาเนียมที่ผ่านการรับรอง ความบริสุทธิ์ของเป้าหมายไททาเนียมมีอิทธิพลอย่างมากต่อประสิทธิภาพของการเคลือบสปัตเตอร์ ยิ่งเป้าหมายไททาเนียมมีความบริสุทธิ์สูง อนุภาคขององค์ประกอบที่ไม่บริสุทธิ์ในฟิล์มไททาเนียมที่สปัตเตอร์ก็จะยิ่งน้อยลง ส่งผลให้ประสิทธิภาพการเคลือบ PVD ดีขึ้น รวมถึงทนต่อการกัดกร่อนได้ดีขึ้น และมีคุณสมบัติทางไฟฟ้าและทางแสงที่ดีขึ้น อย่างไรก็ตาม ในการใช้งานจริง เป้าหมายไททาเนียมสำหรับวัตถุประสงค์ต่างๆ มีข้อกำหนดความบริสุทธิ์ที่แตกต่างกัน วัสดุเป้าหมายใช้เป็นแหล่งแคโทดในการสปัตเตอร์ และองค์ประกอบที่ไม่บริสุทธิ์และการรวมตัวของรูพรุนในวัสดุเป็นแหล่งมลพิษหลักของฟิล์มที่สะสม การรวมตัวของรูพรุนจะถูกกำจัดออกโดยพื้นฐานแล้วในระหว่างการทดสอบแบบไม่ทำลายของแท่งโลหะ และการรวมตัวของรูพรุนที่ไม่ได้ถูกกำจัดออกจะทำให้เกิดการคายประจุในระหว่างกระบวนการสปัตเตอร์ จึงส่งผลกระทบต่อคุณภาพของฟิล์ม เนื้อหาขององค์ประกอบที่ไม่บริสุทธิ์สามารถสะท้อนได้ในผลการทดสอบของการวิเคราะห์องค์ประกอบทั้งหมดเท่านั้น ยิ่งปริมาณสิ่งเจือปนทั้งหมดต่ำ เป้าหมายไททาเนียมก็จะยิ่งมีความบริสุทธิ์มากขึ้น

--ความหนาแน่น

ความหนาแน่นยังเป็นปัจจัยสำคัญในการวัดคุณภาพของเป้าหมายไททาเนียมอีกด้วย เพื่อลดความพรุนในของแข็งของเป้าหมายและปรับปรุงประสิทธิภาพของฟิล์มสปัตเตอร์ เป้าหมายมักต้องมีความหนาแน่นที่สูงขึ้น

ความหนาแน่นของชิ้นงานไม่เพียงแต่ส่งผลต่ออัตราการสปัตเตอร์เท่านั้น แต่ยังส่งผลต่อคุณสมบัติทางไฟฟ้าและทางแสงของฟิล์มด้วย ยิ่งความหนาแน่นของชิ้นงานสูงขึ้น ประสิทธิภาพของฟิล์มก็จะดีขึ้น นอกจากนี้ การเพิ่มความหนาแน่นและความแข็งแรงของชิ้นงานยังช่วยให้ชิ้นงานทนต่อความเครียดจากความร้อนระหว่างการสปัตเตอร์ได้ดีขึ้น ความหนาแน่นยังเป็นหนึ่งในตัวบ่งชี้ประสิทธิภาพหลักของชิ้นงานอีกด้วย

--ขนาดของอนุภาคและการกระจายตัว

โดยทั่วไปแล้ว เป้าหมายการสปัตเตอร์จะมีโครงสร้างโพลีคริสตัลไลน์ที่มีขนาดเกรนในระดับตั้งแต่ไม่กี่ไมโครเมตรไปจนถึงไม่กี่มิลลิเมตร สำหรับเป้าหมายเดียวกัน ยิ่งขนาดอนุภาคของเป้าหมายเล็กเท่าไร ความเร็วในการสปัตเตอร์ของเป้าหมายก็จะยิ่งเร็วขึ้นเท่านั้น นอกจากนี้ เป้าหมายที่มีความแตกต่างของขนาดอนุภาคที่น้อยกว่าก็สามารถสปัตเตอร์ฟิล์มที่มีความหนาสม่ำเสมอมากขึ้นได้ การศึกษาพบว่าหากควบคุมขนาดเกรนของเป้าหมายไททาเนียมให้ต่ำกว่า 100 ไมโครเมตร และรักษาความแปรผันของขนาดเกรนให้อยู่ภายใน 20% คุณภาพของฟิล์มที่สปัตเตอร์สามารถปรับปรุงได้อย่างมาก

การวางแนวผลึกศาสตร์--

ไททาเนียมมีโครงสร้างหกเหลี่ยมที่อัดแน่น เนื่องจากอะตอมของเป้าหมายไททาเนียมสามารถสปัตเตอร์ได้ง่ายตามทิศทางของอะตอมหกเหลี่ยมที่อัดแน่นระหว่างการสปัตเตอร์ เพื่อให้ได้อัตราการสปัตเตอร์ที่สูงขึ้น โครงสร้างผลึกของเป้าหมายสามารถเปลี่ยนแปลงได้โดยการเปลี่ยนวิธีการเพื่อเพิ่มอัตราการสปัตเตอร์ ทิศทางผลึกของเป้าหมายไททาเนียมยังมีอิทธิพลอย่างมากต่อความสม่ำเสมอของความหนาของฟิล์มที่สปัตเตอร์

--ความสม่ำเสมอของโครงสร้าง

ความสม่ำเสมอของโครงสร้างยังเป็นหนึ่งในตัวบ่งชี้ที่สำคัญในการตรวจสอบคุณภาพของเป้าหมาย สำหรับเป้าหมายไททาเนียม ไม่เพียงแต่ต้องมีระนาบการสปัตเตอร์ของเป้าหมายเท่านั้น แต่ยังต้องมีองค์ประกอบทิศทางปกติ ทิศทางของเมล็ดพืช และความสม่ำเสมอของขนาดเมล็ดพืชโดยเฉลี่ยของระนาบการสปัตเตอร์ด้วย ด้วยวิธีนี้เท่านั้น เป้าหมายไททาเนียมจึงสามารถได้ฟิล์มไททาเนียมที่มีความหนาสม่ำเสมอ คุณภาพที่เชื่อถือได้ และขนาดเมล็ดพืชที่สม่ำเสมอในเวลาเดียวกันตลอดอายุการใช้งาน

เคสระบุรายละเอียด

ความเร็วในการหมุน: เป้าหมายควรสามารถหมุนด้วยความเร็วสูงถึงหลายพันรอบต่อนาทีเพื่อให้ได้อัตราการสะสมที่สม่ำเสมอมากขึ้นและยืดอายุการใช้งานของเป้าหมาย

การระบายความร้อน: ควรระบายความร้อนด้วยน้ำให้กับเป้าหมายท่อไททาเนียมเพื่อระบายความร้อนที่เกิดขึ้นในระหว่างกระบวนการสะสมและป้องกันไม่ให้เป้าหมายเสียหาย
แผ่นรอง: แผ่นรองไททาเนียมมักใช้เพื่อรองรับเป้าหมายกระบอกสูบหมุนและให้การสัมผัสทางไฟฟ้า
วิธีการยึดติด: โดยทั่วไปเป้าหมายจะถูกยึดติดเข้ากับแผ่นรองโดยใช้การยึดติดแบบแพร่กระจายหรือวิธีการยึดติดที่มีความแข็งแรงสูงอื่น ๆ เพื่อให้แน่ใจว่ามีการนำความร้อนและไฟฟ้าได้ดี
ความบริสุทธิ์: เป้าหมายหมุนไททาเนียมสำหรับการสปัตเตอร์แมกนีตรอนควรมีระดับความบริสุทธิ์สูงเพื่อลดสิ่งเจือปนในฟิล์มที่สะสมและเพื่อให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอ ระดับสิ่งเจือปนควรน้อยกว่า 1,000 ส่วนต่อล้าน (ppm) สำหรับการใช้งานส่วนใหญ่

โดยรวมแล้ว ข้อมูลจำเพาะของเป้ากระบอกสูบหมุนไททาเนียมจะแตกต่างกันไป ขึ้นอยู่กับข้อกำหนดการใช้งานเฉพาะ และสามารถปรับแต่งเป้าให้ตรงตามความต้องการเหล่านี้ได้

ป้ายกำกับยอดนิยม: เป้าหมุนไททาเนียมสำหรับการสปัตเตอร์แมกนีตรอน เป้าท่อไททาเนียม